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기타 반도체공정연구센터 서비스 안내
반도체물성연구소 | 2005-09-06 | 조회 1674
본문 내용
저희 반도체공정연구센터는 화합물 반도체의 일괄 공정장비 및 특성 평가장비의 구축과 그 운영을 통한 공정서비스 제공, 반도체 기술인력양성 교육프로그램을 실시하고 있습니다.
많은 사용바랍니다.
1.반도체공정연구센터 사용가능한 장비목록
-증착/열처리 : PECVD, LP-Furnace, E-beam evaporator, RTP or RTA(S/M)
-식각 : ICP, PR Asher, Contact Aligner, PR coater
-측정분석 : SEM-Litho, SEM-CL, EBIC, SEM-PICTURE, Hall, Alpha step, Elipsometer. C-V profiler, LED tester, Probe Station, Microscope
-임차장비 : MOCVD(AIX), ICP(Ⅰ), E-beam Evp, AFM, RTP(Ⅰ), C-V Anal, Mask Aligner, Spectrograph Sys, UV/Vis Spectrometer
-공동관리 : MOCVD(Thomas Swan), He-Cd laser, Workstation(SUN Ultra SPARC), Q-switched Nd-Yag laser, Helium Leak Detector
2.서비스 이용절차
1)확인-홈페이지에서 또는 전화문의로 장비시설 상황 및 담당자 확인
2)문의-장비담당(정)에게 문의하여 일정확인
3)접수-신청서 작성 및 접수
4)입실-담당연구교수인가 장비운영실에 확인 후 입실
5)공정/측정-의뢰내역에 따라 장비사용, 장비관리대장 작성
6)퇴실-장비 이상유무 장비운영실에 확인 후 퇴실, 사용내역서 발급
7)사용료 청구-계좌이체만 가능
3.permission 절차
1) 신청서 작성- 지도교수결제
2) 교육일정 확인- 장비담당 정
3) 장비소개/매뉴얼 전달
4) 매뉴얼 숙지 점검
5) 1차 장비교육- 사용법 교육
6) Operation Sheet 숙지점검
7) 2차 장비교육- 피교육자 실습
8) 장비운영 테스트
9) Pass/Permission 결제신청- 부소장 결제
10) Permission 수령
*자세한 문의는 Tel. 063) 270-4491 (한석균 실장)으로 연락주시기 바랍니다.
반도체공정연구센터
많은 사용바랍니다.
1.반도체공정연구센터 사용가능한 장비목록
-증착/열처리 : PECVD, LP-Furnace, E-beam evaporator, RTP or RTA(S/M)
-식각 : ICP, PR Asher, Contact Aligner, PR coater
-측정분석 : SEM-Litho, SEM-CL, EBIC, SEM-PICTURE, Hall, Alpha step, Elipsometer. C-V profiler, LED tester, Probe Station, Microscope
-임차장비 : MOCVD(AIX), ICP(Ⅰ), E-beam Evp, AFM, RTP(Ⅰ), C-V Anal, Mask Aligner, Spectrograph Sys, UV/Vis Spectrometer
-공동관리 : MOCVD(Thomas Swan), He-Cd laser, Workstation(SUN Ultra SPARC), Q-switched Nd-Yag laser, Helium Leak Detector
2.서비스 이용절차
1)확인-홈페이지에서 또는 전화문의로 장비시설 상황 및 담당자 확인
2)문의-장비담당(정)에게 문의하여 일정확인
3)접수-신청서 작성 및 접수
4)입실-담당연구교수인가 장비운영실에 확인 후 입실
5)공정/측정-의뢰내역에 따라 장비사용, 장비관리대장 작성
6)퇴실-장비 이상유무 장비운영실에 확인 후 퇴실, 사용내역서 발급
7)사용료 청구-계좌이체만 가능
3.permission 절차
1) 신청서 작성- 지도교수결제
2) 교육일정 확인- 장비담당 정
3) 장비소개/매뉴얼 전달
4) 매뉴얼 숙지 점검
5) 1차 장비교육- 사용법 교육
6) Operation Sheet 숙지점검
7) 2차 장비교육- 피교육자 실습
8) 장비운영 테스트
9) Pass/Permission 결제신청- 부소장 결제
10) Permission 수령
*자세한 문의는 Tel. 063) 270-4491 (한석균 실장)으로 연락주시기 바랍니다.
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